ÇÏÀ̽ºÅ¹·ÐÀÇ ½Å¿ëÁ¤º¸ º¸È£¹æħ ÀÔ´Ï´Ù.
°³ÀνſëÁ¤º¸ ¼öÁý Á¦°ø ÀÌ¿ë µ¿ÀǼ
¢ß¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî ±ÍÇÏ
'±Í»ç°¡ º»ÀÎÀ¸·ÎºÎÅÍ ÃëµæÇÑ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ±Í»ç°¡ º»ÀÎÀÇ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ¼öÁý. ÀÌ¿ëÇϰųª Á¦3ÀÚ¿¡°Ô Á¦°øÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â °³ÀνſëÁ¤º¸¹ý Á¦15Á¶Á¦1Ç×Á¦1È£, Á¦17Á¶1Ç×Á¦1È£ ¹× ½Å¿ëÁ¤º¸ÀÇÀÌ¿ë¹×º¸È£¿¡°üÇѹý·ü Á¦32Á¶Á¦1Ç×, Á¦33Á¶ ¹× Á¦34Á¶¿¡ µû¶ó º»ÀÎÀÇ »çÀü µ¿ÀǸ¦ ¾ò¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ º»ÀÎÀº ±Í»ç°¡ º»ÀÎÀÇ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ÀÌ¿ëÇϴµ¥ µ¿ÀÇÇÕ´Ï´Ù.
1. °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ Á¦°ø¹Þ´ÂÀÚ : ¢ß¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî, ¢ßKG¿¡¼Â
2. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÌ¿ë¸ñÀû : ´ëÃâ»óÇ° ¾È³», »çÀºÇà»ç ¹× ÆÇÃËÇà»ç, ´ëÃâÀÌ¿ë ±ÇÀ¯¸¦ À§ÇÑ ÀüÈ ¶Ç´Â SMS ¼ºñ½º Á¦°ø µîÀÇ ¸¶ÄÉÆà Ȱ¿ë, °íÁö»çÇ×
3. ÀÌ¿ë ¶Ç´Â Á¦°øÇÏ´Â °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ Ç׸ñ : ¼º¸í, ÈÞ´ëÀüȹøÈ£, À̸ÞÀÏ µî
4. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ º¸È£ ¹× ÀÌ¿ë±â°£ : 5³â
5. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ Á¦3ÀÚ Á¦°ø ¹× °øÀ¯ : ÁֽĸÅÀÔÀڱݴëÃâ ¼ºñ½º °úÁ¤¿¡¼ ´ëÃâ¿©ºÎ È®ÀÎÀ» À§ÇØ ¿©½Å±ÝÀ¶±â°ü°ú Á¤º¸°øÀ¯
¾÷¹«Á¦ÈÞ ±ÝÀ¶»ç : ÇÑȼÕÇغ¸Çè, ÀúÃàÀºÇà(ÇÑÈ, µ¿ºÎ, ´õÄÉÀÌ, Àμº, ½º¸¶Æ®, µ¿¾ç, ¿ì¸®±ÝÀ¶, Çö´ë½ºÀ§½º), ¿ì¸®ÆÄÀ̳½¼È, ijÇÇÅ»(Çϳª, È¿¼º, ¿ì¸®) µî ±× ¿Ü (ÁÖ)¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî°¡ Á¦ÈÞÇÑ ±ÝÀ¶»ç
6. ¿¬¶ô ÁßÁö ¹× µ¿ÀÇ °ÅºÎ½Ã ºÒÀÌÀÍ
"½Å¿ëÁ¤º¸ÀÇ ÀÌ¿ë ¹× º¸È£¿¡ °üÇÑ ¹ý·ü" Á¦37Á¶ Á¦2Ç׿¡ µû¶ó ¿¬¶ô ÁßÁö¸¦ ȸ»ç¿¡ ¿äûÇÒ °æ¿ì ¿äûÀÏÀڷκÎÅÍ 1°³¿ùÀ̳»¿¡ ¿¬¶ôÀ» ÁßÁöÇÔ. ¶ÇÇÑ µ¿ÀǸ¦ °ÅºÎÇÒ ±Ç¸®°¡ ÀÖÀ¸¸ç µ¿ÀǸ¦ °ÅºÎÇÒ °æ¿ì ´ëÃâ»ó´ã ¼ºñ½º°¡ ÁøÇàµÇÁö ¾ÊÀ½
º»ÀÎÀº À§ ³»¿ë¿¡ µ¿ÀÇÇÕ´Ï´Ù.
Á¦¸ñ | ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º, ¿Ã ½ÇÀû »óÀúÇÏ°í ÆÐÅÏ ¿¹»ó¡¦¸ñÇ¥°¡¡è-NH | ||
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ÀÛ¼ºÀÏ | 2023-06-12 | ÀÛ¼ºÀÚ | °ü¸®ÀÚ |
ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º, ¿Ã ½ÇÀû »óÀúÇÏ°í ÆÐÅÏ ¿¹»ó¡¦¸ñÇ¥°¡¡è-NH NHÅõÀÚÁõ±ÇÀº ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º(140860)¿¡ ´ëÇØ ¡°¹ÝµµÃ¼ ´Ù¿î»çÀÌŬ ¹× °èÀý¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ 2023³â ½ÇÀûÀº »óÀúÇÏ°í ÆÐÅÏÀÌ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í Àü¸ÁÇß´Ù. ÅõÀÚÀÇ°ßÀº ¡®¸Å¼ö¡¯, ¸ñÇ¥°¡´Â 17¸¸ ¿ø¿¡¼ 20¸¸ ¿øÀ¸·Î ¡®»óÇ⡯Çß´Ù. µµÇö¿ì NHÅõÀÚÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº 12ÀÏ º¸°í¼¿¡¼ ¡°ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½ºÀÇ 2ºÐ±â ½ÇÀûÀº ¸ÅÃâ¾×Àº ÀüºÐ±â ´ëºñ 3% ÁÙ¾îµç 266¾ï ¿ø, ¿µ¾÷ÀÍÀº 31% Áõ°¡ÇÑ 29¾ï ¿øÀ» ±â·ÏÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù¡±¸ç ÀÌ°°ÀÌ ¹àÇû´Ù. µµ ¿¬±¸¿øÀº ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º°¡ EUV °ü·Ã °øÁ¤¿¡¼ ¼öÇý¸¦ ÀÔÀ» °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù. ±×´Â ¡°EUV´Â ¼Ò½ºÀÇ ÆÄÀåÀÌ Âª¾Æ Æ÷Åæ ¼ô ³ëÀÌÁî(Photon Shot Noise), ¶óÀÌÆ® ºí·¯(Light Blur) µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ½ºÅäij½ºÆ½(Stochastics) °áÇÔ°ú LER(Line Etdge Roughness) Áõ°¡ µî°ú °°Àº ¹®Á¦°¡ »ý±ä´Ù¡±¸ç ¡°ÀÌ·¯ÇÑ ¹®Á¦´Â ±âÁ¸ SEM, TEMº¸´Ù AFMÀ¸·Î °üÃøÀÌ À¯¸®ÇÏ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ÀÌ¾î ¡°ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º°¡ °³¹ßÇÑ EUV ¸¶½ºÅ© ¸®Æä¾î Àåºñ NX-Mask ¼öÁÖ°¡ È°¹ßÇÏ´Ù¡±¸ç ¡°¸¶½ºÅ©´Â ÆÐÅÏ¿¡ °áÇÔ°ú ÆÄƼŬÀÌ »ý±â±â ½¬¿îµ¥ EUV ¸¶½ºÅ©´Â °³´ç 10¾ï ¿øÀ» È£°¡ÇØ °áÇÔÀÌ »ý±ä Á¦Ç°À» ¼ö¸®Çؼ »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÌ ºñ¿ë Àý°¨¿¡ µµ¿òÀÌ µÈ´Ù. ÆÄÅ©½Ã½ºÅÛ½º´Â ¿øÀÚÇö¹Ì°æ ±â¹ÝÀÇ °áÇÔ ÃøÁ¤°ú Žħ ±â¼úÀ» ÅëÇØ EUV¿¡ ÀûÇÕÇÑ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ÀÖ´Ù¡±°í Çß´Ù. AI ÇÁ·Î¼¼¼¿¡¼ ÁÖ·Î »ç¿ëµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â Â÷¼¼´ë ÈÄ°øÁ¤ ÇÏÀ̺긮µå º»µù¿¡¼ AFM È°¿ëÀÌ Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ´Â Á¡µµ ¸ð¸àÅÒÀÌ´Ù. µµ ¿¬±¸¿øÀº ¡°ÇÏÀ̺긮µå º»µù °øÁ¤¿¡¼ ·¯ÇÁ´Ï½º(Roughness), Cu Æеå Çü»ó µîÀ» °üÃøÇÏ´Â ¿ëµµ·Îµµ AFM È°¿ëÀÌ ½ÃÀ۵ƴ١±¸ç ¡°TSMC°¡ ÇÏÀ̺긮µå º»µùÀ» È°¿ëÇÑ 3D SoIC °øÁ¤ ¾ç»êÀ» Áö³ÇغÎÅÍ º»°ÝÀûÀ¸·Î ½ÃÀÛÇßÀ¸¸ç 2023³âºÎÅÍ ½ÃÀå È®´ë°¡ ¿¹»óµÈ´Ù¡±°í ³»´ÙºÃ´Ù. À̵¥Àϸ® |
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º» °Ô½ÃÆÇÀÇ Á¤º¸´Â Âü°íÀÚ·áÀÏ »Ó ´ç»çÀÇ °ßÇØ¿Í ¹«°üÇϸç, ÇØ´çÁ¾¸ñÀÇ °¡Ä¡ ¶Ç´Â »ó½Â, Ç϶ôÀ» º¸ÀåÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. Áõ±ÇÅõÀÚ´Â ÅõÀÚÀÚ ÀÚ½ÅÀÇ ÆÇ´Ü°ú Ã¥ÀÓ¿¡ µû¶ó ÇÏ¿©¾ß ÇÏ°í, ±× °á°ú°¡ ÅõÀÚÀÚ º»Àο¡°Ô ±Í¼ÓµÊÀ» ¾çÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
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