ÇÏÀ̽ºÅ¹·ÐÀÇ ½Å¿ëÁ¤º¸ º¸È£¹æħ ÀÔ´Ï´Ù.
°³ÀνſëÁ¤º¸ ¼öÁý Á¦°ø ÀÌ¿ë µ¿ÀǼ
¢ß¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî ±ÍÇÏ
'±Í»ç°¡ º»ÀÎÀ¸·ÎºÎÅÍ ÃëµæÇÑ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ±Í»ç°¡ º»ÀÎÀÇ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ¼öÁý. ÀÌ¿ëÇϰųª Á¦3ÀÚ¿¡°Ô Á¦°øÇÏ°íÀÚ ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â °³ÀνſëÁ¤º¸¹ý Á¦15Á¶Á¦1Ç×Á¦1È£, Á¦17Á¶1Ç×Á¦1È£ ¹× ½Å¿ëÁ¤º¸ÀÇÀÌ¿ë¹×º¸È£¿¡°üÇѹý·ü Á¦32Á¶Á¦1Ç×, Á¦33Á¶ ¹× Á¦34Á¶¿¡ µû¶ó º»ÀÎÀÇ »çÀü µ¿ÀǸ¦ ¾ò¾î¾ß ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ¿¡ º»ÀÎÀº ±Í»ç°¡ º»ÀÎÀÇ °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ ¾Æ·¡¿Í °°ÀÌ ÀÌ¿ëÇϴµ¥ µ¿ÀÇÇÕ´Ï´Ù.
1. °³ÀνſëÁ¤º¸¸¦ Á¦°ø¹Þ´ÂÀÚ : ¢ß¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî, ¢ßKG¿¡¼Â
2. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÌ¿ë¸ñÀû : ´ëÃâ»óÇ° ¾È³», »çÀºÇà»ç ¹× ÆÇÃËÇà»ç, ´ëÃâÀÌ¿ë ±ÇÀ¯¸¦ À§ÇÑ ÀüÈ ¶Ç´Â SMS ¼ºñ½º Á¦°ø µîÀÇ ¸¶ÄÉÆà Ȱ¿ë, °íÁö»çÇ×
3. ÀÌ¿ë ¶Ç´Â Á¦°øÇÏ´Â °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ Ç׸ñ : ¼º¸í, ÈÞ´ëÀüȹøÈ£, À̸ÞÀÏ µî
4. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ º¸È£ ¹× ÀÌ¿ë±â°£ : 5³â
5. °³ÀÎÁ¤º¸ÀÇ Á¦3ÀÚ Á¦°ø ¹× °øÀ¯ : ÁֽĸÅÀÔÀڱݴëÃâ ¼ºñ½º °úÁ¤¿¡¼ ´ëÃâ¿©ºÎ È®ÀÎÀ» À§ÇØ ¿©½Å±ÝÀ¶±â°ü°ú Á¤º¸°øÀ¯
¾÷¹«Á¦ÈÞ ±ÝÀ¶»ç : ÇÑȼÕÇغ¸Çè, ÀúÃàÀºÇà(ÇÑÈ, µ¿ºÎ, ´õÄÉÀÌ, Àμº, ½º¸¶Æ®, µ¿¾ç, ¿ì¸®±ÝÀ¶, Çö´ë½ºÀ§½º), ¿ì¸®ÆÄÀ̳½¼È, ijÇÇÅ»(Çϳª, È¿¼º, ¿ì¸®) µî ±× ¿Ü (ÁÖ)¿¡½º¾Ø¾¾½Ã½ºÅÛÁî°¡ Á¦ÈÞÇÑ ±ÝÀ¶»ç
6. ¿¬¶ô ÁßÁö ¹× µ¿ÀÇ °ÅºÎ½Ã ºÒÀÌÀÍ
"½Å¿ëÁ¤º¸ÀÇ ÀÌ¿ë ¹× º¸È£¿¡ °üÇÑ ¹ý·ü" Á¦37Á¶ Á¦2Ç׿¡ µû¶ó ¿¬¶ô ÁßÁö¸¦ ȸ»ç¿¡ ¿äûÇÒ °æ¿ì ¿äûÀÏÀڷκÎÅÍ 1°³¿ùÀ̳»¿¡ ¿¬¶ôÀ» ÁßÁöÇÔ. ¶ÇÇÑ µ¿ÀǸ¦ °ÅºÎÇÒ ±Ç¸®°¡ ÀÖÀ¸¸ç µ¿ÀǸ¦ °ÅºÎÇÒ °æ¿ì ´ëÃâ»ó´ã ¼ºñ½º°¡ ÁøÇàµÇÁö ¾ÊÀ½
º»ÀÎÀº À§ ³»¿ë¿¡ µ¿ÀÇÇÕ´Ï´Ù.
Á¦¸ñ | Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî, ¿ÃÇØ¿Í ³»³â '½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀÌµå ¸µ' ¼ºÀå¼¼ Áö¼Ó-À¯¾ÈŸ | ||
---|---|---|---|
ÀÛ¼ºÀÏ | 2023-04-20 | ÀÛ¼ºÀÚ | °ü¸®ÀÚ |
Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî, ¿ÃÇØ¿Í ³»³â '½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀÌµå ¸µ' ¼ºÀå¼¼ Áö¼Ó-À¯¾ÈŸ À¯¾ÈŸÁõ±ÇÀº 20ÀÏ Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî¿¡ ´ëÇØ ¿ÃÇØ¿Í ³»³â ½Ç¸®ÄÜ Ä«¹ÙÀÌµå ¸µ(SiC Ring)ÀÇ ¾ÐµµÀû ¼ºÀå¼¼°¡ Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î Áø´ÜÇß´Ù. ÅõÀÚÀÇ°ß ¸Å¼ö, ¸ñÇ¥ÁÖ°¡ 6¸¸5000¿øÀ¸·Î Ä¿¹ö¸®Áö¸¦ °³½ÃÇß´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁî(166090)ÀÇ ÀüÀå Á¾°¡´Â 4¸¸2900¿øÀÌ´Ù. ¹é±æÇö À¯¾ÈŸÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº ¡°¿ÃÇØ¿Í ³»³â Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ SiC Ring ¿¹»ó ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº °¢°¢ 88¾ï¿ø, 187¾ï¿øÀ¸·Î Àü³âº¸´Ù °¢°¢ 167%, 111% Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÑ´Ù¡±°í ¹àÇû´Ù. ¿Ã ÇϹݱâºÎÅÍ 2024³â±îÁö ÁÖ·Â °í°´»çÀÇ ¡®»êÈ ½Ä°¢Àåºñ(Oxide Etcher) ½ÃÀå Á¡À¯À² È®´ë·Î SiC Focus Ring ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¼öÇý¸¦ ÀÔÀ» °ÍÀ̶ó´Â ÆÇ´Ü¿¡¼´Ù. ÇöÀç ±¹³» Oxide Etcher ½ÃÀå ³» ¹Ì±¹ ·¥¸®¼Ä¡ÀÇ Á¡À¯À²ÀÌ Áö¹èÀûÀÎ °ÍÀ¸·Î ÆľǵÇÁö¸¸, ¿ÃÇØ ÇϹݱâ Áö³ª¸é¼ µµÄìÀÏ·ºÆ®·ÐÀÇ ÀÔÁö°¡ °ÈµÉ °ÍÀ¸·Î ³»´ÙºÃ´Ù. ±×´Â ¡°µµÄìÀÏ·ºÆ®·ÐÀº ÃÖ±Ù °¡½º ·¹½ÃÇÇ °³¹ßÀ» ÅëÇØ ½Å±Ô Oxide Etcher Àåºñ È¿À²¼ºÀ» ±Ø´ëÈ ½ÃŲ °ÍÀ¸·Î Æľǵȴ١±°í ¼³¸íÇß´Ù. ÀÌ¾î ¡°ÁÖ·Â°í°´»çÇâ SiC Ring ½ÃÀåÁ¡À¯À²Àº Áö¼Ó ³ô¾ÆÁú °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ´Â °¡¿îµ¥ 2023³âÀ» Áö³ª¸é¼ SiC Ring »ý»ê ¼öÀ²ÀÌ º¸´Ù ¾ÈÁ¤ÈµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù´Â Á¡À» °¨¾ÈÇϸé ÇâÈÄ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ·¹¹ö¸®Áö´Â °¡¼Ó鵃 °Í¡±À̶ó°í Àü¸ÁÇß´Ù. Çϳª¸ÓƼ¸®¾óÁîÀÇ SiC RingÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ±â¿©µµ´Â 2022³â 4% ¼öÁØ¿¡¼, 2023~2024³â °¢°¢ 11%, 15%À¸·Î Áö¼Ó ³ô¾ÆÁö¸ç Àü»ç ¼ºÀåÀ» °ßÀÎÇÒ °ÍÀ¸·Î ºÃ´Ù. 2023³â ¿¹»ó ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº 779¾ï¿øÀ¸·Î ½ÃÀå ÄÁ¼¾¼½º(898¾ï¿ø)¸¦ ÇÏȸÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤Çß´Ù. »ó¹Ý±â ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ °¡°Ý Ç϶ô°ú ¼ö¿ä ȸº¹ÀÌ Áö¿¬µÇ´Â °¡¿îµ¥ ÁÖ¿ä ±â¾÷µéÀÇ °¨»ê ¿µÇâÀ¸·Î µ¿»ç Si Parts(½Ç¸®ÄÜ ÆÄÃ÷)¿¡ ´ëÇÑ ´Ü±â ½ÇÀû ºÎ´ãÀº ºÒ°¡ÇÇ ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇϱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ´Ù¸¸ ÇϹݱâºÎÅÍ 200´Ü ÀÌ»óÀÇ 3D ³½µå(NAND) °í´ÜÈ Æ®·»µå°¡ ÀçÂ÷ º»°ÝÈµÇ¸ç ½Ç¸®ÄÜ ÆÄÃ÷ ¼ö¿ä°¡ ȸº¹µÇ´Â °¡¿îµ¥ ÁÖ·Â °í°´»çÀÇ Oxide Etcher ½ÃÀå Á¡À¯À² È®´ë SiC Ring ¼ö¿ä Áõ°¡¿¡ µû¸¥ ¼öÇý°¡ ÁýÁßµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇß´Ù. ±×´Â ¡°2024³â Àü»ç ¿¹»ó ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀ» 1274¾ï¿ø·Î ÃßÁ¤ÇÏ¸ç ½ÃÀå ¼ºÀåÀ» ¾Æ¿ôÆÛÆûÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù´Â Á¡ÀÌ ±àÁ¤Àû¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. À̵¥Àϸ® |
|||
º» °Ô½ÃÆÇÀÇ Á¤º¸´Â Âü°íÀÚ·áÀÏ »Ó ´ç»çÀÇ °ßÇØ¿Í ¹«°üÇϸç, ÇØ´çÁ¾¸ñÀÇ °¡Ä¡ ¶Ç´Â »ó½Â, Ç϶ôÀ» º¸ÀåÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. Áõ±ÇÅõÀÚ´Â ÅõÀÚÀÚ ÀÚ½ÅÀÇ ÆÇ´Ü°ú Ã¥ÀÓ¿¡ µû¶ó ÇÏ¿©¾ß ÇÏ°í, ±× °á°ú°¡ ÅõÀÚÀÚ º»Àο¡°Ô ±Í¼ÓµÊÀ» ¾çÁöÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù. |
|||